X射線熒光測厚儀工作原理：通過高壓產(chǎn)生電子流打入到X光管中靶材產(chǎn)生初級X光，初級X光經(jīng)過過濾和聚集射入到被測樣品產(chǎn)生次級X射線，也就是我們通常所說的X熒光，X熒光被探測器探測到后經(jīng)放大，數(shù)模轉(zhuǎn)換輸入到計算機。計算機計算出我們需要的結(jié)果。

　　X射線熒光測厚儀使用過程中的注意事項：

　　1．因該儀器是一種電子儀器，儀器在進行測量之前要預熱。

　　2．因X射線熒光分析方法．是對光電子進行大量累積統(tǒng)計的結(jié)果．因此測量時間不能太短。足夠的測量時間,盡量減小隨機誤差。

　　3．準直器越小，檢測效率和統(tǒng)計平均的效果都將下降，測量程序中所用準直器大小的選擇，應與實際測量應用時相一致。

　　4．因為受到可用厚度標準塊的限制，厚度測量示值誤差中所用的標準塊，可根據(jù)條件許可。

　　5．選擇一到五十標準塊進行測量，選擇的基本原則是：鍍層與基體的材料應與測量程序相一致，厚度的分布應能覆蓋測量程序所用的范圍，當厚度標準塊的數(shù)量受限，應盡量選擇與實際測量應用相接近的厚度塊。

　　6．如果有必要．可以改變相關的測量條件再進行重復性測量。