菲希爾X射線XDL230主要技術(shù)指標(biāo)：（標(biāo)★為重要參數(shù)）

1、測(cè)量原理：X射線熒光光譜法測(cè)量鍍層厚度

2、測(cè)量方式：無損檢測(cè)，可自動(dòng)聚焦

3、元素測(cè)量范圍: Cl（17）--U（92），多可測(cè)量24種元素23層鍍層。

★4、手動(dòng)X/Y平臺(tái),移動(dòng)范圍≥95x150mm,可用工作臺(tái)面≥420x450mm

5、電動(dòng)Z軸，手動(dòng)/自動(dòng)聚焦，可移動(dòng)范圍≥140mm

★6、采用DCM（測(cè)量距離補(bǔ)償法）可遠(yuǎn)距離對(duì)焦測(cè)量腔體樣品，可達(dá)80mm深度

★7、滿足可變高壓30KV,40KV,50KV三種可調(diào)節(jié)，以滿足不同的測(cè)試需求。

★8、準(zhǔn)直器：φ0.3的圓形準(zhǔn)直器

9、X射線探測(cè)器：比例接收器

10、統(tǒng)計(jì)計(jì)算：數(shù)據(jù)組帶時(shí)間和時(shí)期功能，統(tǒng)計(jì)功能包含平均值、標(biāo)準(zhǔn)偏差、大值、小值等；還可輸入公差范圍，計(jì)算CP和Cpk值，超范圍值時(shí)儀器應(yīng)有自動(dòng)報(bào)警提示功能

11、windows7以上中文操作界面，WinFTM專業(yè)測(cè)試軟件，具備連接PC和打印機(jī)的USB借口

★12、測(cè)量誤差：鍍層厚度≥0.5um時(shí)，頂層鍍層測(cè)量精度≤5%